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详细说明
ss-t系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40khz。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围 10-120kw
输入电源 ac380v三相四线制50-60hz±10%
输出方式 交流正弦波
输出频率 40khz
输出电压 空载1000v[有效值]
输出特性 恒流/恒功率
灭弧时间 ≤3us
输出稳定率 1%
冷却方式 2-10kw风冷 10-120kw水冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05mpa
通讯方式 模拟/rs485/rs232
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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