ss-ii系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。 电源功率范围 10-120kw 输入电源 ac380v三相四线制 50-60hz±10％ 输出方式 直流 输出电压 空载800v 灭弧时间 ≤20us 输出电流稳定率 0.5％ 冷却方式 10-60kw风冷 60-120kw水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05mpa 通讯方式 模拟/rs485/rs232 说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整